从近视矫正到芯片制造，准分子激光技术正以“冷加工”的独特优势，悄然改变着多个领域的技术格局。

准分子激光，作为一种波长短、功率高的脉冲激光，因其“冷激光”特性而备受青睐。准分子激光应用领域有哪些？它已从最初的科研工具，扩展到医疗、半导体、显示技术等众多工业与科技领域，成为现代高科技产业不可或缺的一部分。

01 医疗应用：精准健康的守护者

在医疗领域，准分子激光技术已成为一项革命性工具，尤其在眼科和皮肤科治疗中表现突出。

视力矫正领域，准分子激光最早于1985年开始在临床上用于治疗近视，上世纪九十年代初传入中国。

其核心优势在于波长为193nm的激光能够被角膜组织精确吸收，每个激光脉冲仅切削0.2-0.25um厚度的生物组织，实现对角膜的精准重塑。

数据显示，全球每年有超过百万人接受准分子激光LASIK手术，这一技术已成为近视治疗的主流选择。

准分子激光在心血管疾病治疗中也展现出巨大潜力。2025年6月，国内首部《308纳米准分子激光冠脉介入应用中国专家共识》正式发布。

这一共识标志着该技术在冠脉介入临床应用迈出了规范化的一步，为处理冠心病临床疑难病变提供了新利器。

在皮肤科领域，308纳米准分子激光已成为治疗白癜风等免疫性疾病的常用物理治疗方法，疗效得到了临床肯定。

02 半导体与微电子制造：芯片产业的幕后功臣

准分子激光在半导体和微电子制造领域扮演着至关重要的角色，其价值主要体现在光刻和微加工两个方面。

在光刻应用方面，248nm和193nm的准分子激光器已成为制造高度小型化集成电路的关键技术。特别是193nm的准分子激光，使得电路特性可降至10nm，远远低于衍射极限。

准分子激光器工业加工系统具有波长短（351、308、248、193与157nm等紫外波段）、功率高（50～100瓦）、能量大、光斑面积大、光斑分布比较均匀等特点，适合大面积图案加工、3D微加工、MEMS微加工、紫外激光光刻、TFT平板激光退火、LED激光剥离等应用。

LED激光剥离（LLO）是准分子激光的另一重要应用。利用248nm的氟化氪（KrF）准分子激光，可以成功将氮化镓与蓝宝石分离。

这一工艺使得垂直结构LED的实现成为可能，显著提高了LED的最大输出光功率与效率。

近年来，新技术不断涌现，如广明源推出的172nm MINI实验模组，专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计，可用于晶圆清洗、半导体基材表面活化等工艺。

03 显示技术与材料加工

准分子激光在显示技术和材料加工领域同样展现出强大的应用潜力。

在显示领域，准分子激光技术已成为显示屏和柔性电子元件的关键技术。随着OLED显示市场缺口被打开，对激光设备的需求不断增长。

准分子激光器也可以用来提升Micro-LED制造工艺，而Micro-LED是新一代显示技术，比现有的OLED技术亮度更高、发光效率更好、功耗更低。

在材料加工方面，准分子激光广泛应用于激光标记、激光微调、激光退火、激光掺杂和激光沉积薄膜。

由于大部分材料对紫外光有很大的吸收系数，紫外激光标记具有标记速度快、标记率高以及不损伤基底材料的优点，尤其适合于半导体材料的永久性防伪标记。

准分子激光器产生的大面积方形或矩形光斑（500mJ的UV光束在能量密度为1 J/cm2时光斑的面积可达7×7mm）特别适合大面积图案成形工艺与3D微加工。

通过掩膜板与加工工件的协调运动，可以微加工得到较大的复杂图案。

随着技术不断发展，准分子激光的应用前景将更加广阔。从医疗健康的精准治疗，到半导体产业的精细制造，再到显示技术的革新突破，准分子激光技术正以其独特优势，持续推动着多个行业向前发展。

这项始于20世纪70年代的技术，正在新的时代展现出蓬勃的生命力。

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