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干涉仪SP 5000 TR
干涉仪配置: Not Specified 光源: Not Specified 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified工业和研究中的许多应用需要高精度的同步位移和角度测量?？焖偕柚煤颓崴傻髡任匾?。三光束激光干涉仪是将三个干涉仪组合在一个设备中的精密长度测量设备。在所有三个测量通道中使用相同的高度稳定的激光频率。因此，可以以亚纳米精度同时测量三个长度值。根据两个长度值之间的差和校准的光束距离，可以高精度地确定相应的角度。该系统采用模块化设计，因此可适用于各种测量任务。干涉仪的测量范围超过5米，具有亚纳米分辨率。对于使用反射器的测量，角度测量范围可达±12.5°。