椭圆测量法测量电介质薄膜： 原理、应用和益处-Semilab Semiconductor Physics Laboratory

2023-05-22

来源公司：Semilab Semiconductor Physics Laboratory

测量的椭圆参数（Ψ和Δ）将提供分析中的层结构的物理特性信息。这些测量结果提供了关于该层的厚度和折射率的信息，是椭圆仪基本方程的一个重要部分。

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