使用闭环自适应双曲面变形镜对X射线束进行快速塑形控制-Zygo Corporation

2023-06-14

来源公司：Zygo Corporation

几十年来，高速自适应光学校正已经使各个科学界受益匪浅。这项技术以实时计量反馈为基础，但它在硬X射线系统中的应用一直是一个重大挑战。这是由于需要具有个位数纳米高度误差的有源反射镜，这必须与一系列非球面形式相对应。

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