研究目的
研究一种工作在990纳米波长、通过增益耦合效应实现窄线宽控制的高功率、高光束质量分布反馈激光器的性能。
研究成果
该研究成功展示了一种高功率、高光束质量且具有窄线宽的分布反馈（DFB）激光器，在3安培电流下实现了超过0.681瓦的连续波输出功率，并在1.4安培电流下获得0.303瓦的最大单纵模功率。该器件展现出优异的光束质量和光谱特性，适用于对光束质量要求较高且易于制备的应用场景。
研究不足
该研究的局限性在于制造技术的精度以及高注入电流下器件内部可能产生的热量积聚，这可能会影响性能。
1：实验设计与方法选择：
本研究涉及基于脊形波导的增益耦合DFB激光二极管的设与制备，采用周期性电流注入结构。制备方法包括使用标准i线光刻技术进行器件制作。
2：样品选择与数据来源：
器件制备于GaAs衬底上，外延层结构通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）生长而成。
3：实验设备与材料清单：
设备包括标准i线光刻工具、感应耦合等离子体（ICP）刻蚀技术以及用于功率测量的热电探测器。材料包含GaAs衬底和外延层。
4：实验流程与操作步骤：
该过程包括在外延材料生长后，图案化周期性浅刻蚀沟槽、横向波导和周期性表面金属p电极。随后将器件解理为条状和单发射器，涂覆增透/高反膜并进行测试安装。
5：数据分析方法：
使用热电探测器测量光输出功率，采用横河AQ6370C光谱仪进行光谱特性测量，利用法布里-珀罗干涉仪测量线宽。
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