研究目的
提出并实验验证一种紧凑、低成本的颜色传感器，该传感器集成了与光电探测器矩阵采用相同工艺单片集成的纳米级厚度等离子体天线。
研究成果
利用等离子体超表面作为滤色片替代传统颜料，可实现像素设计的平面化，并避免额外对准步骤的必要。该方法还能将传感器整体尺寸缩小至1微米以下。所演示的光电探测器具备区分不同光谱带的能力，并展现出固有的偏振灵敏度。这些传感器可作为未来高分辨率消费级或科学相机中传统彩色像素的平面纳米级替代方案。
研究不足
青色和黄色通道的响应度低于品红色通道，可能是由于金属-半导体界面存在污染所致。偏振选择性和对精密制造技术的需求也可能限制这些传感器的实际应用。
该方法涉及设计与制造集成纳米天线阵列的等离子体色传感器。传感器采用电子束光刻和电子束蒸发金属沉积工艺，在低掺杂n型硅片上制备而成。通过超连续白光光源和扫描光电流显微镜对传感器的光学特性进行了表征。
独家科研数据包，助您复现前沿成果，加速创新突破
获取完整内容-
S121C
S121C
Thorlabs
Power sensor used with the PM100D.
-
PLASMALAB 100
PLASMALAB 100
Oxford Instruments
Used for growing a passivation layer of SiO2.
-
ICP380
ICP380
Oxford Instruments
Used for reactive ion etching of the SiO2 layer.
-
PM100D
PM100D
Thorlabs
Optical power meter used to monitor the power during photoresponsivity measurements.
-
EBPG5000+
EBPG5000+
Electron Beam Lithography System
Used for exposing patterns in the first lithography step.
-
NanoChrome II
NanoChrome II
IntlVac
Used for electron-beam evaporation of aluminum layers.
-
SC450
SC450
Fianium
Supercontinuum white light source used for obtaining reflectance spectra.
-
SuperChrome VIS
SuperChrome VIS
Fianium
Tunable filter used with the SC450 for spectrally resolved measurements.
-
登录查看剩余6件设备及参数对照表
查看全部
