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光学玻璃激光束抛光的适用领域

DOI:10.1051/epjconf/201921507002 期刊:EPJ Web of Conferences 出版年份:2019 更新时间:2025-09-11 14:15:04
摘要: 传统自由曲面光学元件的制造成本高昂且工艺复杂。以激光束作为抛光工具,为快速高效制备光学表面提供了可能。新型光学玻璃激光抛光研究的目标在于实现不受表面几何形状影响的抛光效果。研究采用二氧化碳激光器对具有不同粗糙度的预加工样品进行处理,抛光过程中需借助红外相机监测表面温度,退火工艺可降低加工应力,同时研究清洁工艺以减少表面损伤。通过白光干涉仪和触针式轮廓仪表征表面形貌,激光抛光技术能在保持原有面形的前提下,使N-BK7?、BF33?等矿物玻璃及熔融石英的表面粗糙度降至Ra<5纳米。通过自主设计的装置,该技术可适配圆柱透镜、常规透镜及自由曲面元件的加工需求。实验采用直径12.65毫米的平行激光束处理最大45°倾斜表面,并通过激光参数调制补偿激光辐射强度相关的角度依赖性吸收效应。
作者: Anne-Marie Schwager,Jens Bliedtner,Kerstin G?tze,Michael Seiler,Tino Ritz,Christoph Letsch
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研究概述 实验方案 设备清单

利用激光束抛光技术,在光学玻璃上实现无论表面几何形状如何都能达到的光洁表面效果。

激光束抛光技术可在保持光学玻璃原有形状的同时,实现表面粗糙度低于Ra<5纳米的加工效果。该工艺适用于玻璃圆柱体、透镜或自由曲面,采用直径12.65毫米的平行激光束,可处理最大45°倾斜表面。

该研究聚焦于特定类型的光学玻璃(N-BK7?、BF33?和熔融石英),可能并不适用于所有玻璃类型。该工艺需要对激光参数进行精确控制并监测温度。

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