研究目的
研究掺铥铝硅酸盐玻璃的制备及其在SOI硅光子平台上集成激光器的研究。
研究成果
结果表明，基于掺铥铝硅酸盐体系的进一步发展，具有开发2微米SOI集成激光器的潜力。观察到3重量%的Tm2O3薄膜具有最长寿命，表明Tm3+离子在配体中得到了正确激活。10重量%的Tm2O3薄膜提供了最高强度，这表明通过优化铝组分可获得更高的增益空间。
研究不足
随着Tm2O3组分增加导致的寿命降低，可能是离子间相互作用的结果，这将成为未来研究的重点。
1：实验设计与方法选择：
研究通过磁控溅射法，在氩氧混合气氛中采用不同Tm2O3组分配比的粉末压制铝硅酸盐靶材制备掺铥铝硅酸盐玻璃薄膜。
2：样品选择与数据来源：
薄膜沉积于硅基底上，其下方生长热氧化硅作为下包层。
3：实验设备与材料清单：
磁控溅射系统、硅基底、热氧化硅、粉末压制铝硅酸盐靶材。
4：实验流程与操作步骤：
沉积后样品切割分段，并在不同温度下退火。通过薄膜厚度、表面粗糙度、折射率、荧光发射光谱及激发态寿命进行表征。
5：数据分析方法：
荧光信号经1.5毫米直径光纤收集，使用RG1000长通滤光片滤除泵浦信号。通过离子束刻蚀制备条形波导以测量泵浦波长处的吸收截面。
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获取完整内容-
sputtering system
Deposition of Tm-doped aluminosilicate films
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silicon substrates
Base material for film deposition
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thermal silica
Lower cladding for the films
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powder-pressed aluminosilicate targets
Source material for sputtering
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RG1000 long-pass filter
RG1000
Filtering out the pump signal
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