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[2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC)- 德国慕尼黑(2019.6.23-2019.6.27)] 2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC)- 碳纳米管耦合回音壁模式的可饱和吸收及用于片上锁模激光器的掺铒微谐振器制备

DOI:10.1109/cleoe-eqec.2019.8872793 出版年份:2019 更新时间:2025-09-11 14:15:04
摘要: 锁模(ML)光纤激光器因其高性能与相对低廉的成本,正成为工业领域的关键组件。高重复频率脉冲的产生日益受到关注,但实现GHz级重复频率的光纤激光器仍具挑战性。另一方面,回音壁模式(WGM)微谐振器能实现强光场约束,将锁模激光器微型化为WGM微谐振器可达成高脉冲重复频率、小尺寸及片上集成特性。本研究通过图1(a)所示系统探索无源锁模激光器的可行性,涉及两项关键技术:可饱和吸收(SA)与微谐振器中的激光增益。首先通过数值模拟验证了碳纳米管(CNT)耦合掺铒(Er)微谐振器实现锁模激光的可行性(图1(b))。我们采用非线性薛定谔方程建模,综合考虑增益与SA(含损耗Q值、克尔效应及色散)[2],结果表明该微谐振器参数可实现自启动锁模。受数值结果启发,我们通过化学气相沉积在二氧化硅微环上选择性生长CNT,实验验证了微谐振器系统的SA特性(图1(c)),首次实现WGM微腔系统的SA表征[1]。随后采用溶胶-凝胶法制备掺铒有源微环——该工艺通过金属醇盐前驱体形成二氧化硅薄膜,但在硅片上制备无缺陷的高质量薄膜以实现超高Q值WGM微谐振器仍具挑战性。图1(d)-(f)展示制备薄膜,经参数优化获得图1(g)所示洁净薄膜,并据此制成1480nm波长Q值为1.2×10^6的掺铒WGM微谐振器(图1(h))。当腔体在1480nm泵浦时获得清晰的上转换发光,为该WGM微谐振器实现锁模激光奠定基础。这些成果为研制片上高重复频率锁模WGM微谐振器提供了可行方案。
作者: Riku Imamura,Shun Fujii,Tomoki S. L. Prugger Suzuki,Ryo Suzuki,Rammaru Ishida,Mizuki Ito,Hideyuki Maki,Lan Yang,Takasumi Tanabe
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研究概述 实验方案 设备清单

探索利用微谐振器中包含可饱和吸收和激光增益的系统实现被动锁模激光器的可能性,以获得高脉冲重复频率、小尺寸和片上集成能力。

这些结果为实现片上高重复频率锁?;匾舯谀J轿⑿痴衿魈峁┝艘恢智熬肮憷姆椒?,首次展示了WGM微腔系统中的可饱和吸收现象,并成功制备了掺铒微环芯。

在硅晶圆上制造用于超高Q值回音壁模式微谐振器的高质量无缺陷薄膜,以及实现光纤激光器的GHz重复频率所面临的挑战。

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