研究目的
开发一种具有快速光束偏转功能的脉冲激光沉积系统，用于高效交替烧蚀多个靶材，以合成具有可控成分和性能的薄膜。
研究成果
与传统的脉冲激光沉积系统相比，RBD-PLD系统显著缩短了沉积时间，并提升了对薄膜成分和性能的控制能力。该系统能高效制备二元合金薄膜、成分梯度库以及成分渐变薄膜，同时最大限度减少挥发性组分的再蒸发。
研究不足
该系统的有效性受限于激光器的最大脉冲频率和振镜的扫描时间。成分扩散范围则受到样品尺寸较小以及需要精确控制烧蚀点位置的限制。
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采用检流计镜扫描器快速光束偏转的脉冲激光沉积技术
DOI：10.1063/1.5104291
期刊：Review of Scientific Instruments
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
我们开发了一种采用振镜扫描器实现快速光束偏转（RBD-PLD）的脉冲激光沉积系统，可通过单台激光器交替烧蚀多个靶材。该系统利用振镜扫描器在固定位置的靶材间移动激光束来实现不同靶材材料的交替沉积，而非如传统脉冲激光沉积（PLD）系统那样通过机械方式改变激光固定光路中的靶材位置。因此，传统系统中切换待沉积靶材材料通常需要数秒的"等待"时间，本系统可缩短至几毫秒。我们在薄膜合成的若干技术关键领域展示了该PLD系统的优势：(1) 二元合金薄膜的快速制备；(2) 自然组分梯度库的构建；(3) 靶材切换时间对挥发性化合物沉积的影响；(4) 薄膜中两种材料混合程度的调控；(5) 组分渐变薄膜的高效生长。
作者：
S. Maruyama，N. Sannodo，R. Harada，Y. Anada，R. Takahashi，M. Lippmaa，Y. Matsumoto
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