研究目的
为克服直接激光写入(DLW)技术在3D打印多材料微/纳米结构时的局限性,提出了一种快速多材料DLW(RMM-DLW)策略。
研究成果
RMM-DLW策略能够以前所未有的速度和精度构建包含多种材料的复合微结构,为从根本上实现新型多材料(进而实现多功能)三维纳米结构系统提供了一条极具前景的途径。
研究不足
由于油浸模式双光子光刻工艺的限制,微结构高度被限制在约100-140微米或更短。显影步骤因真空压力过高而存在制造失败的风险。
1:实验设计与方法选择:
RMM-DLW策略采用临时性弹性体键合技术实现微通道的临时构建,用于系列加载、光聚合及不同光敏材料的显影。
2:样本选择与数据来源:
使用玻璃基底PDMS微流控器件构建临时微通道。
3:实验设备与材料清单:
Nanoscribe Photonic Professional GT双光子打印机、IP-S光刻胶、IP-L 780光刻胶、罗丹明标记IP-L 780、Ormocomp光刻胶、PDMS、硼硅酸盐玻璃基底。
4:Ormocomp光刻胶、PDMS、硼硅酸盐玻璃基底。 实验流程与操作步骤:
4. 实验流程与操作步骤:制备负性微通道主模具、PDMS浇铸与固化、玻璃基底热键合、光敏材料真空加载、双光子直写加工、显影及PDMS移除。
5:数据分析方法:
量化对准精度与加工时间缩减效果。
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IP-L 780 photoresist
IP-L 780
Nanoscribe
Used for DLW fabrication of microstructures.
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Ormocomp
Ormocomp
Nanoscribe
Used for DLW fabrication of microstructures.
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IP-S photoresist
IP-S
Nanoscribe
Used for fabricating negative microchannel master molds.
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Nanoscribe Photonic Professional GT
Photonic Professional GT
Nanoscribe, GmbH
Fabrication of negative microchannel master molds using Dip-in Laser Lithography (DiLL) mode DLW.
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PDMS
Used for creating temporary microfluidic channels via thermal bonding to a glass substrate.
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Borosilicate glass substrate
Used as a substrate for the PDMS microfluidic channels.
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