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[2019年IEEE第32届微机电系统国际会议(MEMS) - 韩国首尔(2019.1.27-2019.1.31)] 2019年IEEE第32届微机电系统国际会议(MEMS) - 快速多材料直接激光写入

DOI:10.1109/MEMSYS.2019.8870902 出版年份:2019 更新时间:2025-09-12 10:27:22
摘要: 增材制造技术或称"三维(3D)打印"中的直接激光写入(DLW)技术,在亚微米尺度上展现出卓越的几何结构可设计性,为光子学、超材料及三维细胞生物学等领域带来显著优势。然而DLW的关键局限在于:难以实现多材料微/纳尺度结构的3D打印。具体而言,制备多材料组件需要繁琐耗时的手动基底/材料处理与对准流程,才能维持不同光敏材料间的结构连续性。为突破这一瓶颈,本研究提出"快速多材料DLW(RMM-DLW)"策略,能以前所未有的速度和精度实现多种光敏材料的完全集成式3D纳米结构制造。该方法采用临时性弹性体键合技术构建微通道,通过该通道可依次加载、光聚合及显影不同光敏材料,最终移除弹性体。初步实验显示RMM-DLW使制备时间缩短74%,多材料对准精度达到0.14±0.17微米(ΔX)和0.20±0.15微米(ΔY)——较传统多材料DLW提升达一个数量级。这些成果为开发新型多材料乃至多功能3D纳米结构系统开辟了可行路径。
作者: Andrew C. Lamont,Michael A. Restaino,Ryan D. Sochol
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研究概述 实验方案 设备清单

为克服直接激光写入(DLW)技术在3D打印多材料微/纳米结构时的局限性,提出了一种快速多材料DLW(RMM-DLW)策略。

RMM-DLW策略能够以前所未有的速度和精度构建包含多种材料的复合微结构,为从根本上实现新型多材料(进而实现多功能)三维纳米结构系统提供了一条极具前景的途径。

由于油浸模式双光子光刻工艺的限制,微结构高度被限制在约100-140微米或更短。显影步骤因真空压力过高而存在制造失败的风险。

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