研究目的
基于波纹银膜片的外置式光纤法布里-珀罗干涉型声学传感器弱声探测的制备与测试研究。
研究成果
该研究展示了基于波纹银膜片的高灵敏度、低成本光学声学传感器的制备，这种传感器适用于微弱声波检测。引入波纹结构提高了传感器灵敏度，降低了最小可检测压力，并扩展了动态范围，不过需谨慎设计最佳波纹深度以避免性能下降。
研究不足
与以往方法相比，调整波纹参数的灵活性有限，且隔膜平坦区域存在的褶皱可能会影响传感器性能。
1：实验设计与方法选择：
研究采用简单低成本的方法制备波纹银膜片，通过光刻胶作为牺牲层将硅基波纹转移至银膜片上。
2：样本选择与数据来源：
制备并测试了不同波纹深度的传感器。
3：实验设备与材料清单：
使用硅晶圆、光刻胶、银膜材料及光谱分析仪。
4：实验流程与操作步骤：
在硅基上刻蚀波纹并转移至银膜片，随后组装传感器并测试其频率响应、噪声及动态范围。
5：数据分析方法：
计算机械灵敏度并与理论预测值对比，基于频率响应、最小可测压力及动态范围评估传感器性能。
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silicon wafer
Used as a template for transferring corrugations to silver diaphragms.
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photoresist
Used as a sacrificial layer in the fabrication of corrugated silver diaphragms.
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silver
Material for the diaphragms in the acoustic sensors.
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optical spectrum analyzer
Used for controlling the F-P cavity’s length during sensor assembly.
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