研究目的
研究用于高分辨率投影显示的双轴电磁驱动压阻传感扫描镜的设计与实现。
研究成果
该研究成功展示了一种可实现HD720显示分辨率的CMOS MEMS双轴扫描镜，并对慢轴运动实现了有效的闭环控制。在CMOS MEMS技术中集成电磁驱动与压阻传感，有助于实现微型化与系统集成。
研究不足
该研究受限于制造工艺，可能导致硅片厚度超出预期，从而影响谐振频率。较高电流下的热效应也会对角度响应的线性度产生影响。
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[2019年IEEE第32届国际微机电系统会议(MEMS) - 韩国首尔(2019.1.27-2019.1.31)] 2019年IEEE第32届国际微机电系统会议(MEMS) - 用于投影显示的闭环控制CMOS MEMS双轴扫描镜
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DOI：10.1109/memsys.2019.8870632
出版年份：2019
更新时间：2025-09-12 10:27:22
摘要：
本工作展示了一种双轴电磁驱动压阻传感扫描镜，其θopt?D?fr,fast参数超过2400度·毫米·千赫兹，具备实现HD720（720×1280）显示分辨率的能力。驱动与传感功能均通过CMOS MEMS技术便捷实现。该换能机制相比电容式驱动扫描镜具有更线性的响应特性?；谇氪行阅艿目诽匦员碚鳎杓撇⒀橹ち寺嵩硕谋栈房刂品桨?。
作者：
Cho-Chuan Tsai，Michael S.-C. Lu
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