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用于聚合物和半导体激光透射连接过程的光学相干断层扫描技术

DOI:10.1016/j.procir.2018.08.074 期刊:Procedia CIRP 出版年份:2018 更新时间:2025-09-12 10:27:22
摘要: 激光透射焊接技术已成为连接透明与半透明材料的广泛应用技术。为满足更高产能和更低废品率的需求,亟需替代传统机器视觉或温度测量的方法。光学相干断层扫描技术(OCT)能对透射焊接焊缝及焊点进行定性评估,甚至实现三维检测。用于OCT的傅里叶域模式锁定激光器(FDML)凭借高扫描速率实现高效检测。本文展示了OCT用于聚合物及纤维增强塑料激光透射焊接定性评估的初步成果,以及该技术在硅芯片键合工艺中的初步应用方案。
作者: Heiko Meyer,Mirsolav Zabic,Stefan Kaierle,Tammo Ripken
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研究光学相干断层扫描(OCT)技术在聚合物和半导体激光透射焊接焊缝及焊点质量定性评估中的应用,旨在以无损质量控制方法替代破坏性检测。

光学相干断层扫描(OCT)有望成为聚合物制造业中激光连接工艺无损质量控制和在线过程控制的多功能强大工具。新型光源或多波长OCT方法可能解决当前存在的局限性。

由于折射率的隐匿性变化,热影响区可能无法通过光学相干断层扫描完全检测。增强聚合物中的高散射效应限制了穿透深度。半导体上的金属化表面无法被近红外或中红外波长的光穿透。

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