研究目的
提出并展示一种基于非对称马赫-曾德尔干涉仪（MZI）结构的高分辨率、快速响应光学波导温度传感器，用于分子分析、生物技术和化学合成中的温度检测。
研究成果
基于非对称MZI结构提出的波导温度传感器具有高灵敏度、高分辨率和快速响应时间，适用于化学与生物分析领域。
研究不足
制造过程涉及多个步骤，可能导致生产周期长和成本高。灵敏度取决于制造工艺的精度。
1：实验设计与方法选择：
该传感器基于非对称MZI结构，在两臂中采用两种不同聚合物材料（EpoClad和NOA 73），利用其不同的热光系数实现温度传感。
2：样品选择与数据来源：
通过可调谐激光器和光功率计记录输出强度随温度变化的响应来评估传感器性能。
3：实验设备与材料清单：
包括可调谐激光器（Santec TSL-210）、光功率计（ANDO AQ6317C）、温控波导夹持器（SURUGA SEIKI F274-18）和温度控制器（ILX lightwave LDT-5525B）。
4：0）、光功率计（ANDO AQ6317C）、温控波导夹持器（SURUGA SEIKI F274-18）和温度控制器（ILX lightwave LDT-5525B）。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：采用常规半导体工艺（旋涂、ICP刻蚀和紫外固化）制备传感器，通过向电极加热器施加调制信号并监测输出光强来测量温度响应。
5：数据分析方法：
根据温度变化引起的输出光强变化计算传感器的灵敏度和分辨率。
独家科研数据包，助您复现前沿成果，加速创新突破
获取完整内容-
tunable laser
TSL-210
Santec
Used to record the output intensity variations in response to temperature changes.
立即获取同款设备 -
optical power meter
AQ6317C
ANDO
Used to record the output intensity variations in response to temperature changes.
暂无现货
预约到货通知
-
temperature control waveguide holder
F274-18
SURUGA SEIKI
Used to simulate the environmental temperature variation.
暂无现货
预约到货通知
-
temperature controller
LDT-5525B
ILX lightwave
Used to simulate the environmental temperature variation.
暂无现货
预约到货通知
-
登录查看剩余2件设备及参数对照表
查看全部
