研究目的
利用等离子体蝴蝶结纳米天线阵列增强MOEMS和NOEMS系统中的光学场。
研究成果
等离子体蝴蝶结纳米天线阵列可显著增强微光机电系统（MOEMS）和纳光机电系统（NOEMS）中的光学场，在微流控、光催化微反应器和超灵敏化学传感等领域具有应用潜力。蝴蝶结尖端的形状会影响场分布和频率色散，但所有构型在通道中都能提供相近水平的场增强效果。
研究不足
该研究仅限于数值模拟，未包含实验验证。材料特性和环境条件对蝴蝶结纳米天线性能的影响尚未得到充分探究。
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[2019年IEEE第31届微电子国际会议(MIEL) - 塞尔维亚尼什(2019.9.16-2019.9.18)] 2019年IEEE第31届微电子国际会议(MIEL) - 用于MOEMS场增强的蝴蝶结等离子体纳米天线阵列
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DOI：10.1109/MIEL.2019.8889622
出版年份：2019
更新时间：2025-09-12 10:27:22
摘要：
许多微（纳）光机电系统（MOEMS、NOEMS）需要实现光?。ㄍǔＮ绱懦。┑木钟蛴朐銮俊Ｕ饫嘤τ冒ü獯呋⒎从ζ骱托酒笛槭摇谡庑┫低持校匦虢饽芫钟蛴诹魈逋ǖ滥?；其他典型应用还包括化学与生物传感器。而等离子体技术能实现亚波长尺度的场局域，通过调控倏逝场可使其适配MOEMS和NOEMS中微小通道的形貌特征。本研究提出一种增强MOEMS和NOEMS系统光场的可行方案：采用线性排列的等离子体蝴蝶结结构阵列，将光场汇聚至介电通道内。我们运用有限元法进行数值模拟，分析蝴蝶结天线可实现的光场分布及其调控可能性，并探究蝴蝶结耦合端形状对光场分布及频率色散的影响。研究证实，等离子体蝴蝶结阵列有望成为光学辅助微纳流体技术的理想选择。
作者：
M. Obradov，Z. Jak?i?，I. Mladenovi?，D. Tanaskovi?，O. Jak?i?
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