研究目的
基于AlInGaN异质结构开发并制造一种高压发光二极管(LED)倒装芯片,该芯片由16个元件串联组成,工作电流为20 mA,正向电压为48 V,具有改进的电流分布均匀性和量子效率。
研究成果
基于AlInGaN异质结构开发的高压LED倒装芯片成功集成了16个串联元件,在20mA电流下实现48V工作电压。两级金属化和优化的接触焊盘布局提升了电流分布均匀性及量子效率。该芯片的设计与制造工艺展现出在高压应用中高效使用的潜力。
研究不足
该研究聚焦于一种特定设计的高压LED芯片,可能未涵盖所有潜在应用或LED芯片设计的变体。实验结果基于特定的异质结构,可能因不同材料或生长条件而有所差异。
1:实验设计与方法选择:
该LED倒装芯片设计为16个常规LED元件串联连接,采用两级金属化布局及中间绝缘层以改善电流分布均匀性并最小化面积损耗。通过数值模拟优化接触焊盘排列。
2:样品选择与数据来源:
使用在图案化蓝宝石衬底上通过MOCVD方法生长的AlInGaN LED异质结构。
3:实验设备与材料清单:
Veeco公司E300型MOCVD生长设备、扫描电子显微镜(SEM)成像、氯基等离子体反应离子刻蚀用于芯片元件间刻蚀通道。
4:实验流程与操作步骤:
元件间通道刻蚀、高反射率金属p型和n型接触层沉积、绝缘SiO2层涂覆、散热用金焊盘沉积。
5:数据分析方法:
基于基尔霍夫方程的数值模拟优化电流分布,并测量I-V特性与量子效率。
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