研究目的
研究烘焙温度对掺镓氧化锌透明薄膜的结构、形貌及光学等关键性能的影响。
研究成果
采用溶胶-凝胶旋涂法制备的GZO薄膜经不同温度预烧结后退火处理，展现出高光学透过率和六方纤锌矿结构。其中250°C预烧结后400°C退火的薄膜具有最优的物理性能、形貌特征及光学特性。研究表明，涂覆过程中的预烧结工艺可降低形成优质GZO薄膜所需的退火温度。
研究不足
该研究聚焦于焙烧温度与退火温度对镓掺杂氧化锌薄膜性能的影响，但未深入探究掺杂浓度或旋涂参数等其他潜在变量的作用。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用溶胶-凝胶基旋涂工艺在玻璃基底上生长镓掺杂氧化锌透明薄膜。通过不同温度热退火处理后，利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、光谱仪和傅里叶变换红外光谱(FTIR)进行表征。
2：样品选择与数据来源：
以玻璃基底进行薄膜沉积。前驱体溶液由醋酸锌二水合物和硝酸镓水合物在无水乙醇中配制，并添加二乙醇胺作为溶胶稳定剂。
3：实验设备与材料清单：
扫描电子显微镜(JEOL: JSM-6340F)、X射线衍射仪(BRUKER AXS: D8 DISCOVER)、紫外-可见分光光度计(PG:T90+)、傅里叶变换红外光谱仪(SHIMADZU: IRTracer-100)。
4：实验流程与操作步骤：
将溶液搅拌陈化后旋涂于基底，经多温度热退火处理及退火工艺后完成表征。
5：数据分析方法：
通过XRD图谱分析晶体结构，SEM观察形貌，紫外-可见光谱测试光学性能，FTIR分析化学键合情况。
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获取完整内容-
scanning electron microscope
JSM-6340F
JEOL
Monitoring the thickness and morphological features of the prepared films
-
Fourier transform infrared spectroscopy
IRTracer-100
SHIMADZU
Analyzing the relevant chemical bonding of the films
-
X-ray diffractometer
D8 DISCOVER
BRUKER AXS
Investigating the crystal phase of the grown films
-
UV-Vis spectrophotometer
T90+
PG
Analyzing the optical properties of the films
-
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