研究目的
通过在氮化硅上集成微环谐振器与阵列波导光栅（AWG）串联构建高分辨率光谱仪，应用于生物传感与生物成像领域。
研究成果
提出的微环谐振器与阵列波导光栅集成方法，可构建一种结构紧凑、宽频带且高分辨率的光谱仪，有望提升制造工艺容差并降低插入损耗与通道间串扰。未来优化方向包括激光微调微环谐振器波长及改进阵列波导光栅设计。
研究不足
通道间串扰为10dB，主要受限于二级AWG的串扰。AWG的通道间距与设计值不完全一致，导致两级之间存在光谱失配。
1：实验设计与方法选择：
该设计通过集成微环谐振器（MRR）与阵列波导光栅（AWG）实现高分辨率和宽自由光谱范围。
2：样品选择与数据来源：
器件制备于氮化硅多项目晶圆（MPW）平台，并采用宽带超辐射发光二极管（SLD）与光谱分析仪进行测试。
3：实验设备与材料清单：
氮化硅晶圆、SLD、光谱分析仪、光纤-芯片光栅耦合器。
4：实验步骤与操作流程：
利用光纤-芯片光栅耦合器实现芯片的光输入输出，并测量传输光谱。
5：数据分析方法：
通过分析传输光谱确定信道间隔与信道间串扰。
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silicon nitride multi-project wafer
MPW
IMEC
Platform for fabricating the integrated spectrometer
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superluminescent diode
SLD
Light source for testing the spectrometer
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optical spectrum analyzer
Analyzing the transmission spectrum of the spectrometer
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fiber-chip grating couplers
Coupling light into and out of the chip
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