研究目的
研究铽镓石榴石(TGG)晶体中质子注入平面波导的制备及其光学性能，包括退火处理的影响。
研究成果
在410°C下退火的TGG波导表现出更优的光学性能，具有更多导模和更好的光限制效果。该研究表明质子注入与退火技术在优化波导特性方面具有潜力，可应用于激光源领域。
研究不足
该研究仅限于质子注入和退火对TGG晶体波导的影响。研究结果可能不直接适用于其他材料或制造方法。
1：实验设计与方法选择：
采用提拉法合成TGG晶体并制备质子注入样品。通过特定能量与剂量的质子辐照制备波导，随后进行不同温度的退火处理。
2：样品选择与数据来源：
切割抛光TGG晶体晶圆至光学品质要求，记录注入前基底的折射率。
3：实验设备与材料清单：
使用棱镜耦合器测量折射率，光学显微镜进行成像观测。采用SRIM、RCM和FD-BPM软件进行模拟计算。
4：实验流程与操作步骤：
室温下以特定参数进行质子注入，分别在260℃和410℃温度下退火处理，测量退火前后的光学特性。
5：数据分析方法：
分析暗模光谱与折射率分布，通过模拟计算研究波导特性。
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获取完整内容-
prism coupler
Measuring the refractive index of the TGG substrate and recording the dark-mode spectrum of the waveguide.
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optical microscope
Obtaining the end-facet images of the TGG waveguide.
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SRIM
2013
Simulating the energy loss deposition of proton implantation.
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RCM
Calculating the refractive index profile of the waveguide.
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FD-BPM
Simulating the propagation modes for TE polarization in the waveguide.
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BeamPROP
8.0
Rsoft Design Group
Simulating the light propagation in the waveguide.
-
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