研究目的
设计一种新型MEMS移相器结构，具有更短的传输线、更小的桥膜变形和更少的单元。
研究成果
所提出的对称双桥膜结构能在相同传输线长度下实现近两倍的相移。加载离散电容可进一步增大相移，为MEMS移相器设计提供了可行的新思路。
研究不足
该文章尚未讨论开路电压以及生产工艺的优化问题，这些仍需进一步研究和探讨。
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[2018年IEEE国际应用计算电磁学学会研讨会-中国分会（ACES）-北京，中国（2018.7.29-2018.8.1）] 2018年国际应用计算电磁学学会研讨会-中国分会（ACES）-MEMS共面波导移相器的新设计
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[2018年IEEE国际应用计算电磁学学会研讨会-中国分会（ACES）-北京，中国（2018.7.29-2018.8.1）] 2018年国际应用计算电磁学学会研讨会-中国分会（ACES）-MEMS共面波导移相器的新设计
DOI：10.23919/ACESS.2018.8669307
出版年份：2018
更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要：
本文提出了一种新型MEMS共面波导（CPW）桥膜设计，以实现小型化、低损耗且单元数更少的移相器。该结构采用对称桥膜设计，适用于通用分布式MEMS移相器。这些附加桥膜置于共面波导下方，通过该结构可提升单单元的相移量。此外，在桥膜两端引入离散电容可进一步增大相移。采用CST软件对10GHz频段下的结构进行仿真，结果表明所有相态下插入损耗均为0.5dB。该结构的应用能显著减少单元数量，从而减小器件尺寸与损耗。
作者：
Zhao-feng Wu，Ji-bin Liu
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