1：实验设计与方法选择：

本研究采用有限元分析（FEA）热模型对加热板（HP）和脉冲功率传输器（PPT）进行建模，并通过实验测量验证。

2：样本选择与数据来源：

HP和PPT结构基于300毫米晶圆的实际加工条件建模。

3：实验设备与材料清单：

使用ANSYS Multiphysics进行FEA分析，辅以示波器（DSOX3014T）、交流电源（Agilent AC6804A）和红外热像仪（FLIR T440）进行验证。

4：实验流程与操作步骤：

将动态功耗模拟为HP各区域的动态热通量，并通过红外热图验证温度均匀性。

5：数据分析方法：

利用经验证的FEA模型分析温度分布及参数对热性能的影响。