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集成于CMOS工艺硅波导上的量子点单光子源的原位波长调谐

DOI:10.1063/1.5129325 期刊:Applied Physics Letters 出版年份:2020 更新时间:2025-09-16 10:30:52
摘要: 硅基量子光子学通过利用互补金属氧化物半导体(CMOS)技术的优势,为大规模量子光子集成电路(QPICs)的实现提供了可行路径。要实现此类硅基QPICs的可扩展运行,最直接的方法是集成确定性单光子源(SPSs)。为此,基于InAs/GaAs量子点(QDs)等确定性固态SPSs的混合集成极具前景。然而,量子点固有的光谱与空间随机性,给在硅CMOS芯片上可扩展地集成多个相同SPSs带来了严峻挑战。为攻克这一难题,我们一直在研究名为转移印刷的混合集成技术——该技术基于拾放操作,能将目标QD SPSs随意集成到硅CMOS芯片任意位置。但即便在此方案中,仍需对来自不同源的干涉光子进行原位精细调谐以实现集成QD SPSs间的完美波长匹配。本文展示了在CMOS硅芯片上集成QD SPSs的原位波长调谐:通过为集成量子点配置光驱动加热垫实现发射波长的热调谐,并采用转移印刷技术集成所有必要元件,大幅简化了微/纳光子结构三维堆叠的制备流程。我们进一步实现了同一硅芯片上两个异质QD源间的原位波长匹配。这种基于转移印刷的方法将为利用CMOS技术构建大规模QPICs开辟可能。
作者: Ryota Katsumi,Satoshi Iwamoto,Hidefumi Akiyama,Yasuhiko Arakawa,Yasutomo Ota,Alto Osada,Takeyoshi Tajiri,Takuto Yamaguchi,Masahiro Kakuda
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为了展示集成在CMOS工艺硅波导上的量子点单光子源的原位波长调谐,以实现可扩展的量子光子集成电路。

该研究成功展示了利用转印技术和光学加热垫,在硅CMOS芯片上对集成量子点单光子源进行原位波长调谐。这种方法有助于实现多个相同量子点单光子源的可扩展集成,这对大规模量子光子集成电路至关重要。未来的工作可以探索替代调谐技术并改善光源间的热绝缘。

与先前报道相比,热调谐范围有限,这可能是由于热量向玻璃包层扩散所致。量子点光源的转移过程目前依靠人工操作且耗时较长。光子耦合效率低于设计值,这归因于制造缺陷和定位不准确。

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