研究目的
研究等离子体氢传感器中灵敏度优化的设计原理。
研究成果
该研究制定了一套最大化等离子体氢传感器灵敏度的设计原则，证明了对低至100ppm浓度的氢气具有稳健检测能力。这些见解适用于广泛的等离子体传感器应用领域。
研究不足
该研究聚焦于最低可检测氢浓度的优化与等离激元氢传感器的设计，但未详细探讨其他气体中毒导致的潜在失活问题，也未深入分析传感器响应的非线性行为。
1：实验设计与方法选择：
采用自主开发的散射矩阵方法进行数值计算，并结合微区光谱反射测量。
2：样品选择与数据来源：
在不同厚度的金反射镜与氟化镁间隔层基底上制备钯纳米盘阵列。
3：实验设备与材料清单：
Pfeiffer Vacuum PLS 500电子束辅助蒸发系统、RAITH eLINE Plus电子束光刻系统、Nikon Eclipse TE2000-U倒置显微镜、Princeton Instruments SP2500i光栅光谱仪、PIXIS 256 CCD探测器、Energetiq EQ-99FC白光源。
4：实验流程与操作步骤：
样品制备、微区光谱光学测量、角分辨反射测量。
5：数据分析方法：
光学响应分析及底层物理原理研究，计算结果与实测数据对比。
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Energetiq EQ-99FC
EQ-99FC
Energetiq
Ultra-stable laser-driven white light source for illumination.
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Pfeiffer Vacuum PLS 500
PLS 500
Pfeiffer Vacuum
Electron-beam assisted evaporation system for sample fabrication.
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RAITH eLINE Plus
eLINE Plus
RAITH
Electron-beam lithography system for patterning.
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Nikon Eclipse TE2000-U
TE2000-U
Nikon
Inverted microscope for optical measurements.
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Princeton Instruments SP2500i
SP2500i
Princeton Instruments
Grating spectrometer for reflectance measurements.
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PIXIS 256 CCD
256 CCD
Princeton Instruments
CCD detector for capturing optical signals.
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