研究目的
研究采用低成本现成（OTS）微机电系统（MEMS）技术，对由MEMS微型球轴承支撑的径向空气涡轮平台进行基于振动的原位监测、诊断与特性分析。
研究成果
该论文展示了低成本商用现成（OTS）MEMS技术在基于振动的原位监测、诊断及表征径向空气涡轮平台所支撑的MEMS微型球轴承方面的成功应用。这些方法可应用于旋转微系统，用于早期故障检测、故障诊断以及基于反馈的优化，以提高设备性能、可靠性和运行寿命。该研究通过集成系统为未来MEMS设备的主动诊断奠定了基础。
研究不足
该研究聚焦于一种特定的MEMS微球轴承支撑径向空气涡轮平台，若未经调整可能无法直接适用于其他MEMS器件。采用现成商用（OTS）组件也可能限制针对特定应用的定制化与优化。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用多模态软件套件实现平台自动化与传感器监测，使用三级启发式软件套件和传感器网络。
2：样本选择与数据来源：
旋转微装置采用双OTS加速度计配置，用于双量程并行冗余振动分析。
3：实验设备与材料清单：
包括MEMS微球轴承支撑的径向空气涡轮平台、双OTS加速度计及用于监测运行参数的传感器套件。
4：实验流程与操作步骤：
传感器套件实时或频域监测并检测转子失稳、不平衡、摆动及系统共振等运行参数。
5：数据分析方法：
研究采用时域与频域分析方法进行振动诊断。
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