研究目的
在磷化铟平台上设计和制造悬空光学波导，用于配备微机电系统（MEMS）驱动的光学缓冲器件，通过静电驱动改变波导间距实现可调光学延迟。
研究成果
在InP平台上成功制备了横向尺寸为亚微米的长悬空双波导结构，适用于MEMS驱动的光电器件。研究表明，通过改变波导间距可实现高达100%的群折射率变化，显示出其在光缓冲应用中实现宽带操作的潜力。
研究不足
该研究承认在制造过程中控制波导间气隙的挑战性，这对器件功能至关重要。此外，必须精确控制波导尺寸以确保最佳性能。
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[IEEE 2019年第46届光伏专家会议(PVSC) - 美国伊利诺伊州芝加哥(2019.6.16-2019.6.21)] 2019 IEEE第46届光伏专家会议(PVSC) - 双面接触钝化双多晶硅太阳能电池工业金属化解决方案研究
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DOI：10.1109/pvsc40753.2019.8980500
出版年份：2019
更新时间：2025-09-19 17:13:59
摘要：
我们展示了基于磷化铟平台、用于MEMS驱动光学缓冲器的悬浮光波导设计与制造方案，该方案通过静电驱动改变波导间距实现光延迟调控。我们对波导与柱状支撑结构的光学及机械特性进行建模，并模拟了不同MEMS驱动方案。同时呈现了外延生长样品结构与悬浮波导器件的制备与表征结果：该器件具有两条亚微米级平行波导（其间距为400纳米空气隙），并通过S形支撑结构以40微米间隔实现悬浮。
作者：
Wing H. Ng，Nina Podoliak，Peter Horak，Jiang Wu，Huiyun Liu，William J. Stewart，Anthony J. Kenyon
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