研究目的
研究基于激光的方法在定义叉指背接触硅太阳能电池中湿化学金属化工艺接触的可行性及问题。
研究成果
结果表明，激光图案化是IBC加工中一种极具前景的可制造方法，但强调需要仔细设计器件加工条件和架构以?；さ撞憬峁沟耐暾浴?/p>
研究不足
在光伏器件接触加工过程中，需谨慎优化和控制激光条件，以最大限度减少基底损伤并防止寄生铜镀现象。
1：实验设计与方法选择：
在Ni/a-SiNx:H/Si衬底上对铜电镀叉指接触的种子层进行激光图案化处理，通过调节激光参数控制损伤程度。
2：样品选择与数据来源：
采用未图案化的50纳米蒸发镍/150微米织构化Cz-Si（1-5欧姆·厘米）晶圆（Ni/Si）作为工作电极，以便电镀过程中更易操作样品。
3：实验设备与材料清单：
使用普林斯顿应用研究公司PARSTAT 2273高级电化学系统恒电位仪，铂网辅助电极和饱和甘汞参比电极（SCE），基于CuSO4/H2SO4溶液配制的水性铜电镀液。
4：实验流程与操作步骤：
通过循环伏安法测量确定氩气?；さ耐缍埔旱牡缁形谖唇涟璧碾财；に缘缍埔褐姓业阶罴训缍铺跫?，电镀后用去离子水冲洗晶圆并在氩气流中干燥。
5：数据分析方法：
通过库仑法监测生长速率，采用传输线法（TLM）测量接触电阻（RC）。
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