研究目的
研究通过热蒸发和氧化法制备的二氧化钛薄膜作为硅太阳能电池电子选择性接触材料的特性。
研究成果
该研究表明，使用低成本氧化钛层作为硅太阳能电池的载流子选择性层具有可行性，其隐含开路电压约为644毫伏。能带排列证实该薄膜作为电子选择性层的有效性。
研究不足
钝化质量随薄膜的相位和热处理时间而变化。初始沉积金属过厚或氧化时间不足会导致钝化质量不佳。
1：实验设计与方法选择：
通过热蒸发和氧化法制备氧化钛薄膜，重点研究电子选择性钝化接触层的特性。
2：样品选择与数据来源：
采用n型Fz单晶硅（100）晶圆。
3：实验设备与材料清单：
热蒸发仪（CANON ANELVA公司）、原子层沉积设备（Arradiance公司）、WCT-120测试仪（Sinton仪器公司）、掠入射X射线衍射仪（Rigaku公司）、X射线光电子能谱仪（Kratos公司）、高分辨透射电镜（赛默飞世尔科技公司）、紫外光电子能谱仪（ULVAC-PHI公司）、紫外-可见光谱仪（Jasco公司）。
4：实验流程与操作步骤：
对晶圆进行清洗，生长二氧化硅层，通过原子层沉积或热蒸发后氧化制备氧化钛层，并对样品进行分析。
5：数据分析方法：
采用准稳态光电导法测量载流子寿命和隐含开路电压，利用掠入射X射线衍射和X射线光电子能谱分析物相及化学成分，通过紫外光电子能谱和紫外-可见光谱分析能带排列。
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获取完整内容-
Thermal Evaporator
CANON ANELVA Co.
Deposition of titanium metal
-
ALD
Arradiance Inc
Deposition of titanium oxide layers
-
WCT-120
Sinton Instruments
Measurement of carrier lifetime and implied Voc
-
GIXRD
Rigaku Co.
Analysis of crystalline structure
-
XPS
Kratos
Analysis of chemical composition
-
HR-TEM
Thermo Fisher Scientific
Examination of layer thickness and uniformity
-
UPS
ULVAC-PHI
Analysis of band alignment
-
UV–vis spectroscopy
Jasco
Analysis of band alignment
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