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三维纳米颗粒组装纳米柱的晶圆级制备及点击化学修饰用于痕量羰基化合物的高灵敏度SERS检测

DOI:10.1088/1361-6528/ab82d5 期刊:Nanotechnology 出版年份:2020 更新时间:2025-09-23 15:19:57
摘要: 在这项工作中,我们开发了一种新的晶圆级金纳米颗粒包覆硅纳米柱(SNPs)制备方法,结合表面化学修饰技术,基于表面增强拉曼散射(SERS)实现痕量羰基化合物检测。通过氧等离子体轰击光刻胶合成的纳米掩模进行蚀刻工艺制备SNPs,并在其表面沉积金纳米颗粒,从而形成用于灵敏SERS检测的三维"柱上颗粒"纳米结构。该器件对罗丹明6G(R6G)的增强因子(EF)可达平面硅基底的1.56×10^6倍。我们还通过氨基氧基十二烷硫醇(ADT)自组装修饰对纳米结构进行化学改性,开发了肟点击化学反应流程。该芯片进一步集成了聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控腔室,可快速便捷地检测液体样品中的痕量羰基化合物。通过滴加荧光羰基化合物前后的对比验证了SERS检测能力。此外,该器件在重复测量中表现出高表面一致性(<70%),具备检测十亿分之一(ppb)级羰基化合物浓度的潜力。
作者: Jie Cheng,Liu Yang,Haiyang Mao,Wenjie Zhao,Yifei Ye,Yang Zhao,Lingqian Zhang,Mingxiao Li,Chengjun Huang
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开发一种新的晶圆级金纳米颗粒覆盖硅纳米柱(SNPs)的制备方法,并结合表面化学修饰,基于表面增强拉曼散射(SERS)技术检测痕量羰基化合物。

总之,我们开发了一种基于点击反应并通过SERS技术检测痕量羰基化合物的3D贵金属纳米颗粒包覆SNPs化学修饰材料。该纳米柱通过光刻胶氧等离子体轰击掩模下的蚀刻工艺制备而成。经R6G探针实验验证,该SERS基底具有约1.56×10^6的增强因子,能满足特定应用领域痕量化学检测的需求。通过自组装法用ADT对基底表面进行功能化处理以捕获痕量羰基化合物。ppb级荧光羰基化合物的检测以及捕获前后拉曼峰位移表明,本工作提出的策略在实时快速水质检测方面展现出巨大潜力。

拉曼光谱的均匀性虽不及某些高精度纳米结构,但由于该器件可实现晶圆级制备、操作简便且检测快速,因而具有更高的应用价值。

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