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多反射辅助激光多普勒测振仪设置，用于高分辨率位移测量

DOI：10.1016/j.optcom.2020.125504 期刊：Optics Communications 出版年份：2020 更新时间：2025-09-23 15:19:57
摘要： 本文介绍了一种基于基本激光多普勒测振仪原理的高分辨率非接触式位移传感器实验设计方案。通过利用振动表面与平行放置的高反射镜之间形成的高Q值腔体内多次反射实现相位倍增，从而提升测量分辨率。研究通过直接计数干涉图"半周期"内的特征峰，实现了72纳米位移测量（误差范围±14纳米）。实验获得了位移量与反射次数之间的线性关系，该关系为测量亚纳米级位移提供了直接途径，其最终分辨率主要取决于运动源的反射率和物理尺寸。
作者： Nikhil Kumar Pachisia，Kajal Tiwari，Ritwick Das
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

通过高Q值腔体内的多次反射实现相位倍增，展示基于基本激光多普勒振动计（LDV）原理的高分辨率非侵入式位移传感器。

研究成果

激光多普勒测振仪中的多次反射方案可实现高达72纳米的高分辨率位移测量，具备亚纳米级分辨率的潜力。位移与反射次数之间的线性关系提供了直接的测量方法，其分辨率受限于反射镜的反射率和尺寸。

研究不足

该技术主要适用于正弦干扰，可能需要相位计以实现皮米级分辨率。入射角必须较小以最小化误差。

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