研究目的
研究环境条件对脉冲激光沉积ITO薄膜表面等离子体共振特性的影响。
研究成果
研究表明，环境条件可有效调控ITO薄膜的表面等离子体共振特性，其中真空沉积薄膜展现出更优异的等离激元性能。实验结果与理论模拟高度吻合，证实了ITO作为近红外波段替代性等离激元材料的潜力。
研究不足
该研究仅限于在特定环境条件下沉积的ITO薄膜。未探究其他气体或压力对表面等离子体共振（SPR）特性的影响。理论模型未考虑入射角变化时束流形状的改变。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用脉冲激光沉积（PLD）技术在两种不同环境条件（高真空和0.001毫巴氮气压力）下制备ITO薄膜。反射率测量基于Kretschmann-Raether几何构型搭建实验装置，理论模拟通过MATLAB中的传输矩阵法（TMM）实现。
2：001毫巴氮气压力）下制备ITO薄膜。反射率测量基于Kretschmann-Raether几何构型搭建实验装置，理论模拟通过MATLAB中的传输矩阵法（TMM）实现。 样品选择与数据来源：
2. 样品选择与数据来源：ITO薄膜沉积于康宁玻璃基底，光学特性表征采用可变角度旋转补偿器椭圆偏振仪完成。
3：实验设备与材料清单：
包含Q开关Nd:YAG激光器、光谱椭偏仪（SEMILAB GES5E）、BK7玻璃棱镜及折射率匹配液。
4：实验流程与操作规范：
薄膜在固定能量密度和衬底温度条件下沉积，通过改变入射角进行反射率测量。
5：数据分析方法：
采用Drude模型拟合提取介电函数参数，通过反射光谱分析确定表面等离子体共振特性。
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获取完整内容-
Spectroscopic ellipsometry
SEMILAB GES5E
SEMILAB
Used for optical characterization of the thin films.
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Q-switched Nd-YAG laser
Used for pulsed laser deposition of ITO thin films.
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BK7 glass prism
Used in the Kretschmann-Raether geometry-based setup for reflectivity measurements.
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Index-matching fluid
Used to paste the films onto the prism for reflectivity measurements.
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