研究目的
通过采用常压化学气相沉积（APCVD）法制备磷硅玻璃（PSG）并进行激光加工，将传统的钝化发射极和背面全扩散（PERT）结构转变为背面局部扩散（PERL）结构，从而开发高效双面n型正背接触（nFAB）硅太阳能电池。
研究成果
该研究成功利用常压化学气相沉积磷硅玻璃（APCVD PSG）和激光工艺开发出双面nFAB PERL太阳能电池，冠军电池效率达到21.3%。通过碱性处理结合激光烧蚀形成的局部纹理背场表现出优异性能，其高填充因子达81.1%。研究指出，若能在更窄的激光加工区域实现更精准对位，该技术还有进一步提升效率的潜力。
研究不足
主要限制在于设备局限导致金属指状物错位，且必须使用极宽的激光图案才能实现良好对准，这给太阳能器件带来了非必要的额外激光损伤和重度掺杂。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用常压化学气相沉积（APCVD）磷硅玻璃（PSG）作为掺杂源并结合激光工艺制备双面n型FAB PERT和PERL电池。针对PERL电池研究了两种方案：激光掺杂与扩散阻挡层的激光烧蚀。
2：样本选择与数据来源：
实验在工业级双面n型硅太阳能电池上进行。
3：实验设备与材料清单：
用于PSG沉积的APCVD系统、用于掺杂和烧蚀的纳秒激光系统、用于钝化的在线等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器以及用于金属化的丝网印刷工具。
4：实验流程与操作步骤：
工艺包含PSG沉积、激光加工形成局部背?。˙SF）、钝化及金属化。激光烧蚀后引入碱处理以形成局部织构化背场。
5：数据分析方法：
通过四探针扫描法表征电学特性，利用电流-电压（I-V）特性评估太阳能电池性能。
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