研究目的
研究高温退火预处理及氧化性环境气体对提升光伏器件用n型直拉硅材料光生载流子体寿命的影响。
研究成果
在1100°C下进行Tabula Rasa预处理可提升n型直拉硅的光生载流子寿命，而低温退火过程中采用氧化性环境气体能进一步增强体区寿命?；肪称宓难≡穸宰钪掌骷阅芫哂邢灾跋?，其中氧气环境比氮气环境效果更优。
研究不足
该研究聚焦于n型直拉硅材料及特定退火条件，可能限制其对其它材料或加工条件的适用性。热预算对体寿命评估产生的表面或近表面效应的作用可能需要进一步探究。
1：实验设计与方法选择：
研究涉及高温快速退火（Tabula Rasa）和较慢的pc-Si/SiO2钝化接触结晶退火，采用不同环境气体（O2和N2）。
2：样品选择与数据来源：
选用磷掺杂的PV级n-Cz硅片，经制绒后切割成样品进行处理。
3：实验设备与材料清单：
使用Sinton WCT-120进行光生载流子寿命表征，HF/HCl溶液用于表面钝化，常规热壁管式炉进行退火，PECVD用于沉积非晶硅薄膜。
4：实验流程与操作步骤：
包括表面清洗、寿命表征、Tabula Rasa预处理、PECVD沉积、结晶退火及Al2O3钝化。
5：数据分析方法：
光生载流子寿命光谱分析、光致发光成像及光导衰减测量。
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Sinton WCT-120
WCT-120
Sinton
Photocarrier lifetime characterization
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HF/HCl solution
Surface passivation
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hot-wall tube furnace
Annealing
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PECVD
a-Si films deposition
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Al2O3
Passivation
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