研究目的
研究基于共面波导谐振器的微机械调谐原理，以实现低损耗的频率调谐。
研究成果
研究证实，通过对共面波导（CPW）段进行微机械调谐，可有效控制短截线滤波器，在位移小于100微米的情况下实现超过50%的谐振频率偏移。
研究不足
该研究侧重于模拟结果；未提供实验验证。
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[IEEE 2018年国际信息与电信技术及无线电电子学会议（UkrMiCo）- 乌克兰敖德萨（2018.9.10-2018.9.14）] 2018年国际信息与电信技术及无线电电子学会议（UkrMiCo）- 基于共面波导谐振器的微机械调谐
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[IEEE 2018年国际信息与电信技术及无线电电子学会议（UkrMiCo）- 乌克兰敖德萨（2018.9.10-2018.9.14）] 2018年国际信息与电信技术及无线电电子学会议（UkrMiCo）- 基于共面波导谐振器的微机械调谐
DOI：10.1109/ukrmico43733.2018.9047563
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:21:01
摘要：
该论文将微机械调谐原理拓展至基于共面波导的谐振器。采用有限元法和有限积分法求解电磁问题。所展示的信号电极抬升于衬底上方以及介质体悬浮于线路表面之上的仿真结果表明，器件具有良好的调谐性且损耗较低?；诳傻鞴裁娌ǖ嫉男痴衿魇迪至烁叽?0%的调谐范围，位移量小于100微米。文中还提出了基于可调共面波导的带阻短截线滤波器的等效电路模型。
作者：
Artem Chernov，Victor Kazmirenko，Yuriy Prokopenko，Guy A. E. Vandenbosch
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