研究目的
基于X射线和同步辐射反射测量数据,研究小波变换在估算薄膜密度剖面中各层厚度及其排列顺序方面的应用。
研究成果
该研究得出结论:小波变换能有效分析薄膜的X射线反射率数据,并提出了最小化失真、提高薄膜结构模型可靠性的方法。研究强调在分析中需考虑测量区间的有限性及样品质量的影响。
研究不足
该研究承认由于角度测量区间的有限性,ACF和WT图谱中存在失真,并提出了减少这些失真的方法。同时指出,样本质量问题(如界面粗糙度和层状无序)也可能导致额外的失真。
研究目的
基于X射线和同步辐射反射测量数据,研究小波变换在估算薄膜密度剖面中各层厚度及其排列顺序方面的应用。
研究成果
该研究得出结论:小波变换能有效分析薄膜的X射线反射率数据,并提出了最小化失真、提高薄膜结构模型可靠性的方法。研究强调在分析中需考虑测量区间的有限性及样品质量的影响。
研究不足
该研究承认由于角度测量区间的有限性,ACF和WT图谱中存在失真,并提出了减少这些失真的方法。同时指出,样本质量问题(如界面粗糙度和层状无序)也可能导致额外的失真。
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