研究目的
研究换能器分析过程，包括建立模型并对结果数据进行数学运算以获取悬臂梁式传感器的性能参数，以及通过机械模拟指导设计悬臂梁传感器。
研究成果
该工作展示了分析换能器的过程，包括建立模型和进行数学运算以获取性能参数。同时解释了悬臂梁生物传感器的原理，并基于ANSYS机械仿真设计了一款悬臂梁传感器。
研究不足
该研究的局限性在于确保悬臂式生物传感器安全可靠设计的复杂性，以及模拟和设计过程中可能需要的优化。
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[IEEE 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT) - 上海 (2018.8.8-2018.8.11)] 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT) - 一种特殊生物传感器的机械仿真
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[IEEE 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT) - 上海 (2018.8.8-2018.8.11)] 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT) - 一种特殊生物传感器的机械仿真
DOI：10.1109/icept.2018.8480624
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:21:01
摘要：
悬臂梁式传感器是最常见的MEMS传感器之一。本文以分析换能器的过程为例，阐述了如建立模型和对结果数据进行数学运算以获取悬臂梁式传感器性能参数的方法。我们还说明了悬臂生物传感器的工作原理，同时解释了悬臂梁的工作理论，以及基于机械仿真指导的悬臂梁传感器设计。
作者：
Shuaipeng Wang，Hongxun Tian，Xinghui Zhang，Jianqiang Li，Yanning Chen，Wenhe Wang，Yidong Yuan，Haifeng Zhang，Yubo Wang，Dongyan Zhao
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