研究目的
展示?？榛烧锒戏从Χ训纳杓葡附?，并深入解析该反应堆在原子层沉积（ALD）工艺中的运行机制，包括在典型ALD压力与流量条件下对TDMAT和水进行吹扫时间的特性分析。
研究成果
本文描述了一种诊断友好型原子层沉积（ALD）反应器，该设备采用热ALD工艺可沉积器件级氧化物，且体积小巧便于集成至光学系统。通过简易指数衰减模型可估算前驱体吹扫时间，证实了该反应器在ALD过程原位诊断中的实用价值。
研究不足
该反应器的设计与操作针对原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）工艺进行了优化，尤其侧重于热沉积。本研究未探讨除TDMAT和水之外的其他沉积技术或材料。
1：实验设计与方法选择：
反应器设计为光学可观测结构，用于探究热薄膜沉积过程，并通过红外吸收测量进行表征。
2：样品选择与数据来源：
选用TDMAT和水作为典型原子层沉积前驱体，因其具有显著差异的质扩散率值。
3：实验设备与材料清单：
反应器由扩张锥、反应器主体及带集成晶圆卡盘的排气歧管组成。材料包含铝和不锈钢部件，加热系统采用线绕聚酰亚胺加热器和筒式加热器。
4：实验流程与操作步骤：
气体通过扩张锥导入，基于压力的质量流量控制器维持恒定流速。前驱体按受控序列注入，其浓度随时间变化被持续监测。
5：数据分析方法：
利用红外吸收测量分析TDMAT和水的时变浓度分布曲线，数据经最大值归一化处理。
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