研究目的
采用双栅极结构以改善场发射中电子通过栅极的传输效率。
研究成果
双栅极结构能有效提升传输效率，在低发射电流下栅极2的电子拦截率低于10%。但两栅极间的对准精度仍需改进。
研究不足
两个网格之间的对齐精度仍需提高。
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[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018.7.9-2018.7.13)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 双栅极增强场发射中电子传输的实验研究
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[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018.7.9-2018.7.13)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 双栅极增强场发射中电子传输的实验研究
DOI：10.1109/IVNC.2018.8520144
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:21:21
摘要：
场发射中栅极的高电子拦截率会导致气体脱附、阴极发射下降、栅极变形、短路等问题，严重影响器件的可靠性。本文采用双栅结构来改善栅极的电子传输，实验结果表明能有效提高电子传输效率。
作者：
Xiao Mei，Lei Wei，Zhao Zhi Wei，Zhu Zuo Ya，Xia kai，Zhang xiao bing
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