研究目的
研究CuO、WO3-x和ZnO纳米线的场发射特性与机制，并探索其在栅控场发射器、平板X射线源及成像探测器等真空微电子器件中的应用。
研究成果
研究表明，氧化物纳米线场发射体（尤其是氧化锌纳米线）在大面积真空电子器件中具有广阔应用前景，包括平板X射线源和成像探测器。该研究揭示了场发射机制及器件集成挑战，为未来研究指明了方向。
研究不足
该研究强调了制造大面积冷阴极及其用于平板X射线源的器件集成所面临的挑战，同时指出需进一步优化器件性能与可靠性。
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[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018年7月9日-2018年7月13日)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 氧化物纳米线的场致发射：机理与应用
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[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018年7月9日-2018年7月13日)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 氧化物纳米线的场致发射：机理与应用
DOI：10.1109/IVNC.2018.8520166
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:21:21
摘要：
在这次受邀报告中，我们将回顾近期在几种氧化物纳米线场发射研究及其在真空微电子器件中应用方面取得的进展。我们研究了CuO、WO3-x和ZnO纳米线的场发射特性并探讨了其场发射机制，探索了纳米线场发射体在门控场发射器、平板X射线源及成像探测器中的应用。我们制备了采用ZnO纳米线场发射体的平板X射线源原型，并验证了其高分辨率成像能力，同时也证实了采用ZnO纳米线场发射体构建大面积高灵敏度探测器的可行性。
作者：
Jun Chen，Yicong Chen，Zhufan Lin，Long Zhao，Daokun Chen，Kun Wang，Zhipeng Zhang，Guofu Zhang，Juncong She，Shaozhi Deng，Ningsheng Xu
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