研究目的
开发一种用于冷铷/铯原子光谱的自泵浦高真空微机电系统光学腔，在存在铷蒸气的情况下实现腔内动态稳定的高真空环境。
研究成果
所提出的用于原子光谱学的自泵浦MEMS微型腔是一项突破性解决方案，在铷蒸气存在的情况下实现了10^-7托的真空度，并能动态稳定在10^-6托。这为制造原子光谱学光学腔开辟了新途径。
研究不足
密封过程后的初始真空度为1×10?3托，要获得更好的真空效果需要优化施加的电压和抽气时间。该解决方案的真正潜力需要通过冷原子光谱等更精密的实验来验证。
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[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018.7.9-2018.7.13)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 用于原子光谱学的MEMS光学腔内动态稳定高真空技术
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DOI：10.1109/IVNC.2018.8520291
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:21:21
摘要：
首次提出了一种用于铯/铷原子光谱分析的自泵浦高真空MEMS光学腔室。该方案将MEMS碱金属蒸汽腔与离子吸附微型泵集成，形成了可能全球首创的独特解决方案，可在芯片上实现高真空环境并引入碱金属原子。在固态扩散器持续引入铷蒸气的情况下，动态稳定了10^-6托的真空度。这一成果为研制新一代原子光谱分析用光学腔室开辟了新途径。
作者：
Pawe? Knapkiewicz，Jan Dziuban，Tomasz Grzebyk
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