研究目的
研究材料退化对三种不同介质（多层聚酰亚胺、石英和氧化铝）表面产生的介质阻挡放电（SDBD）等离子体的电学和光学特性的影响。
研究成果
研究表明，材料退化会显著影响表面介质阻挡放电（SDBD）等离子体的电学和光学特性。聚酰亚胺基器件同时出现介电退化和电极侵蚀现象，导致电子温度与气体温度随时间推移而升高；石英和氧化铝基器件仅发生电极侵蚀，表现为电子温度降低但气体温度上升。电子温度的分布更能反映等离子体处理过程中放电均匀性的变化情况。
研究不足
该研究聚焦于三种特定介电材料及其在等离子体放电下的退化情况。研究结果可能并不直接适用于其他材料或不同的放电条件。
1：实验设计与方法选择：
研究在三种不同电介质上制备丝网印刷电极，并采用交流电源产生介质阻挡放电（SDBD）等离子体。通过光学发射光谱（OES）和利萨如图形分析评估电学与光学特性。
2：样本选择与数据来源：
使用具有不同相对介电常数的三种电介质：多层聚酰亚胺、石英和氧化铝。收集了放电图像、表面形貌及电学测量数据。
3：实验设备与材料清单：
数码相机（尼康D7000）、电子显微镜（JT-1600A）、扫描电子显微镜（SEM，蔡司Supra55）、数码显微镜（KH-8700）、高压探头（泰克P6015A）、示波器（泰克DPO4014B）、光纤光谱仪（爱万提斯2048）。
4：0）、电子显微镜（JT-1600A）、扫描电子显微镜（SEM，蔡司Supra55）、数码显微镜（KH-8700）、高压探头（泰克P6015A）、示波器（泰克DPO4014B）、光纤光谱仪（爱万提斯2048）。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：在受控条件下对器件进行等离子体放电老化测试。在不同老化时间点采集放电图像和表面形貌，并通过电学测量分析功耗与传输电荷量。
5：数据分析方法：
根据利萨如图形计算单次放电消耗能量，利用线强比技术从OES数据推算等离子体温度。
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