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[IEEE 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT)- 上海(2018.8.8-2018.8.11)] 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT)- 带有ZnO纳米线的微金字塔硅晶圆作为高效压电纳米发电机

DOI:10.1109/ICEPT.2018.8480670 出版年份:2018 更新时间:2025-09-10 09:29:36
摘要: 压电纳米发电机(PENG)是纳米技术发展中的重要里程碑。这种在纳米尺度将机械能转化为电能的装置,依赖于纳米材料压电性与半导体特性的耦合效应,为环境能量采集实现自供能纳米技术提供了潜在解决方案。如何提高转换效率仍是当前PENG面临的核心挑战之一?;谘沟缒擅追⒌缁幕⊙芯浚颐翘岢鲆恢旨虻?、稳健且可扩展的纳米线纳米发电机制备方法:先在硅晶圆微金字塔纹理表面生长氧化锌纳米线,再将两片氧化锌纳米线面对面贴合的基底简单组合即构成纳米发电机。该结构能多方位收集机械能——当采用40千赫兹超声波驱动时,这种金字塔构型的氧化锌纳米线纳米发电机可产生平均约3纳安的压电电流信号。
作者: Xuecheng Yu,Leicong Zhang,Wen Jiang,Pengli Zhu,Hairong Zheng,Rong Sun,Ching-Ping Wong
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研究概述 实验方案 设备清单

提出一种简单、稳健且可扩展的纳米线纳米发电机制备方法,以收集多方位机械能,从而提高压电纳米发电机的转换效率。

该研究通过采用具有微结构的压电纳米发电机,成功提高了直流压电纳米发电机的发电效率。

当前输出处于纳安范围,由于系统和环境中的干扰与噪声,这带来了重大挑战。

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