研究目的
采用一种名为基于区域的强度传输方程（R-TIE）的新技术，测量具有大台阶高度（>100微米）的物体三维轮廓以及纳米级表面形貌。
研究成果
R-TIE方法成功测量了具有大高度变化的阶梯状微结构的三维形貌，在关注区域结合了非接触、并行和快速测量的优势，并达到纳米级精度。
研究不足
该方法易受物体材料均匀性、反射率及光照条件的影响。对于因表面缺陷、灰尘或复杂图案导致的局部非均匀强度图像，该方法可能会失效。
1：实验设计与方法选择：
该方法采用配备电调透镜（ETL）的智能成像系统，通过电子控制快速重聚焦、复合图像分割以及传输强度方程（TIE）实现相位恢复。
2：样本选择与数据来源：
使用具有数十微米至数毫米高度变化的阶梯状试样。
3：实验设备与材料清单：
实验装置包含部分相干LED光源、电调透镜（EL-10-30-C-VIS-LD-MV，ETL）、由两个焦距f=50mm透镜组成的4f成像系统，以及单色CCD相机（映美精DMK 41AU02）。
4：实验流程与操作步骤：
通过调节ETL焦距捕获不同焦点位置的图像，应用图像分割将图像划分为对应阶梯物体各层的区域，随后利用TIE恢复各层相位从而获取高度分布。
5：数据分析方法：
采用基于快速傅里叶变换泊松求解器的传输强度方程进行相位恢复。
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Captures images at different focus positions for phase retrieval.
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