研究目的
展示一种腔光力传感器，该传感器能够通过吸收入射辐射并由此引发纳米机械振荡器的光热频率偏移来检测辐射。
研究成果
腔光力光热传感器展现出高度灵敏的吸收测量能力，表明其在化学传感、测辐射热法和成像领域具有潜在应用价值。
研究不足
由于波导与纳米机电振荡器之间的间距极小，机械共振表现出强烈的阻尼效应，因此测量必须在真空中进行。
1：实验设计与方法选择：
该实验采用微环谐振器，其倏逝光场与NEMS振荡器重叠。实验装置包含脉冲泵浦-探测测量，用于激励和测量NEMS机械共振。
2：样品选择与数据来源：
器件由硅衬底热氧化层上的LPCVD Si3N4制成，NEMS振荡器经后处理集成至微环光学腔体。
3：实验设备与材料清单：
包括网络分析仪、连续波激光器、保偏耦合器、100倍近红外物镜、带通滤波器和光电探测器。
4：实验流程与操作步骤：
样品置于定制真空腔中。泵浦激光调谐至腔模频率，连续波探测激光略微失谐至另一腔模的3dB点。泵浦光与探测光合束聚焦至器件，探测光经器件透射后收集测量。
5：数据分析方法：
通过分析NEMS位移振幅及耦合至器件的光功率，验证梯度光学力产生的激励效应。
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network analyzer
Used to modulate the pump, which is tuned to a cavity mode.
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CW laser
Serves as the probe and is slightly-detuned to the 3 dB-point of a different cavity mode.
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PM-coupler
70/30
Combines the pump and probe lasers.
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100x-NIR objective
Focuses the combined pump and probe into the device and collects them after passing through the device.
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bandpass filter
BPF
Filters the pump so that only the probe is measured by the photodetector.
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photodetector
Det
Measures the probe, which is modulated by the NEMS motion.
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