研究目的
通过低成本、可扩展的加工工艺和衬底，优化基于K0.5Na0.5NbO3（KNN）的压电薄膜传感器的薄膜性能。
研究成果
研究表明，通过选择不同衬底来控制薄膜的应变/应力水平，可以实现基于KNN的溶胶-凝胶薄膜的εr和Pr变化。沉积在Pt/SrTiO3衬底上处于压应变的KNN薄膜，相比沉积在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上处于拉应变的KNN薄膜，表现出更优异的介电常数和极化性能。
研究不足
该研究仅限于比较铂/二氧化钛/二氧化硅/硅（Pt/TiO2/SiO2/Si）和铂/钛酸锶（Pt/SrTiO3）衬底上的KNN薄膜，重点分析热膨胀失配对其介电和铁电性能的影响。
1：实验设计与方法选择：
采用含5%过量钾的溶胶-凝胶溶液，在Pt/TiO2/SiO2/Si和Pt/SrTiO3基底上沉积KNN薄膜，并在750°C下快速热退火5分钟。
2：样品选择与数据来源：
使用0.2 M前驱体溶液（含5%过量钾）通过750°C快速热退火，在镀铂硅和SrTiO3基底上制备出相同的无裂纹多晶KNN薄膜（厚度约335 nm）。
3：2 M前驱体溶液（含5%过量钾）通过750°C快速热退火，在镀铂硅和SrTiO3基底上制备出相同的无裂纹多晶KNN薄膜（厚度约335 nm）。 实验设备与材料清单：
3. 实验设备与材料清单：X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱系统、精密LCR表、铁电分析仪、原子力显微镜。
4：实验步骤与操作流程：
通过XRD、SEM、EDS、介电与铁电性能测试及AFM对薄膜进行表征。
5：数据分析方法：
XRD分析相形成与结构，SEM分析形貌与厚度，EDS分析成分，介电与铁电测试评估电学性能，AFM分析粗糙度并进行PFM表征。
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