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[微/纳米技术] 微纳制造技术 第一卷 || 功能表面微铣削

DOI:10.1007/978-981-10-6588-0_2-2 出版年份:2018 更新时间:2025-09-04 15:30:14
摘要: 微制造技术近年来在光学、电子、医学、生物技术和通信等多个领域得到快速发展。随着微/纳米级测量、控制及刀具技术的进步,微铣削技术也取得了显著突破。本章重点阐述用于功能性表面制造的微铣削技术——这类表面通过微观形貌调控材料性能。引言部分首先综述了功能性表面的当前技术现状及微细加工工艺,随后分析了实现高质量表面微结构与元件所面临的微铣削技术挑战。接着从操作原理和材料去除过程两方面探讨典型微铣削工艺,指出晶粒尺寸与取向对材料去除过程具有显著影响:减小晶粒尺寸可有效控制切削力动态分量、毛刺形成及加工变质层。微铣削技术能以高加工效率制造具有微凹坑的功能性表面,其中采用45°倾斜主轴的铣削方式可加工微凹坑,而刀具轴线倾斜铣削工艺还可应用于圆柱表面微凹坑加工。通过建立力学模型,可根据切削参数、进给方向和刀具几何形状精确控制凹坑形貌。这类微凹坑表面可用于调控光学反射率、润湿性等表面功能特性。
作者: Takashi Matsumura
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研究概述 实验方案 设备清单

研究微铣削技术在制造功能性表面中的应用,这些表面通过其形貌来控制材料行为。

本章总结指出,微铣削技术在以高精度和灵活性控制三维形状及表面功能方面具有优势。材料晶粒尺寸的减小能提升加工精度与表面质量。研究表明,高生产率的微凹坑铣削是制造功能性表面的有效方法,可应用于光学反射与润湿性控制等领域。本章强调该技术在各行各业未来应用的潜力,同时指出微细加工过程需具备高效性、可控性及低运行成本等特性。

本章讨论了微铣削中的挑战,例如刃口半径对去除机制的影响、刀具制造所需的高精度,以及材料晶粒尺寸对加工精度和表面质量的影响?;固岬绞纯毯湍芰渴忍娲ひ盏木窒扌?,包括环境影响、灵活性、成本和生产率。

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