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二维MoSe2的相位工程与光学特性:前景与挑战

DOI:10.1016/j.matchemphys.2018.11.069 期刊:Materials Chemistry and Physics 出版年份:2019 更新时间:2025-09-23 15:23:52
摘要: 通过锂插层选择性控制MoS2从2H相到1T′相的转变(即单层MoS2的相工程),因能降低MoS2接触电阻且与CMOS器件架构兼容,近期在纳米电子学领域引发关注。本文报道了相关MoSe2体系的"芯片级"2H到1T′相变——该材料具有更小的1.55 eV 2H带隙,且1T′相转变应更具热力学优势。我们首次实现了SiO2和蓝宝石衬底上单层MoSe2的芯片级2H到1T′相变。尽管金属态数量增加,芯片级1T′-MoSe2仍展现出更高透明度,表明其光电特性可调,有望应用于透明电极和能量收集领域。同时阐述了正丁基锂暴露法进行芯片级相工程带来的挑战:密度泛函理论(DFT)计算显示,需在MoSe2单层两侧存在Li+离子才能产生1T′相变的强热力学驱动力。研究发现图案化正丁基锂暴露过程存在不一致性且动力学差异显著。鉴于正丁基锂工程化1T′-MoSe2的稳定性问题,我们认为该工艺不适合作为二维电子器件的可靠制备技术。
作者: Eve D. Hanson,Laura M. Lilley,Jeffrey D. Cain,Shiqiang Hao,Edgar Palacios,Koray Aydin,Chris Wolverton,Thomas Meade,Vinayak P. Dravid
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研究概述 实验方案 设备清单

利用锂插层研究单层MoSe2从2H相到1T′相的片上相位工程,并评估其光学特性及电子应用可靠性。

单层MoSe?的晶圆级2H相至1T′相转变虽可实现并提升光学透明度和导电性,但该过程受稳定性问题、锂插层挑战及不可靠图案化工艺制约,表明n-BuLi诱导的相工程在实际电子器件中不可行,需谨慎对待。

基于正丁基锂的相工程因图案化不一致、1T′相不稳定、单层可能剥落、反应时间长以及动力学不均匀等问题而不可靠,使其不适合用于可扩展的电子应用。

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