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先进碳化硅器件与工艺 || 用于新型量子技术器件的碳化硅

DOI:10.5772/61166 出版年份:2015 更新时间:2025-09-23 15:22:29
摘要: 碳化硅(SiC)近期被研究作为承载适用于光学与自旋量子比特的深部光学活性缺陷的替代材料。该材料为开发比当前更先进的量子器件与传感器提供了独特机遇。我们将总结关键研究成果,揭示缺陷在此类材料中实现光学与自旋量子测量(如单光子发射和光学自旋控制)所起的作用。碳化硅的显著优势在于其成熟完善的器件加工工艺体系,以及能以直接方式集成这些缺陷的可能性。当前学界特别关注碳化硅纳米材料与纳米光子学领域——一旦实现,将为量子纳米光子学乃至整个光子学领域引入新平台。我们将综述通过多型带隙工程与深部缺陷实现光学发射的碳化硅纳米结构。纳米结构与碳化硅内禀顺磁缺陷的结合,或将为未来单粒子/单缺陷量子器件及相关具有单分子灵敏度的生物医学传感器铺平道路。最后我们将评述与本征缺陷集成的碳化硅经典器件(光子晶体腔、微盘),并展望顺磁缺陷与碳化硅纳米结构及器件集成后可能产生的新型传感器。
作者: Stefania Castelletto,Lorenzo Rosa,Brett C. Johnson
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研究概述 实验方案 设备清单

研究碳化硅作为承载深度光学活性缺陷的材料在量子技术应用中的潜力,包括单光子源和自旋量子比特,并探索其集成至先进器件与传感器的方法。

碳化硅(SiC)因具有多种具备量子特性的顺磁缺陷、室温单光子发射能力、与金刚石NV色心相当的较长自旋相干时间,以及与标准器件工艺的兼容性,成为量子技术领域极具前景的材料。未来研究应聚焦于特定位置的缺陷工程、集成纳米光子腔以提升性能、同位素纯化以改善相干时间,以及实用化量子器件与传感器的开发。

挑战包括某些缺陷的弱光致发光强度和较差的ODMR对比度、红外发射体需要低温环境、精确定位光子器件内缺陷的困难,以及为减少杂质引起的自旋退相干而需要高纯度材料。纳米光子结构的制备可能造成影响光学效率和自旋相干性的损伤。

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