1：实验设计与方法选择：

本实验采用微波激发常压等离子体射流（MWAPPJ）进行薄膜沉积。该方法因无需真空设备即可产生低温等离子体并实现高速沉积而被选用。理论模型包括等离子体生成与溶胶-凝胶化学。

2：样品选择与数据来源：

将乙酰丙酮锌（Zn(acac)?）溶胶-凝胶前驱体涂覆于10 mm×10 mm不锈钢网靶材上，以硅片作为沉积基底。通过扫描电镜（SEM）和X射线光电子能谱（XPS）获取薄膜形貌与性能数据。

3：实验设备与材料清单：

设备包含2.45 GHz微波电源的MWAPPJ装置、多功函数发生器、E-H调谐器、石英管、红外热像仪（InfReC R300SR，日本航空电子工业株式会社）、场发射扫描电镜（JSM-7610F，日本电子株式会社）、XPS（JPS-9010MC，日本电子株式会社）、Keithley 2400数字源表、旋涂仪（Mikasa株式会社）、充氮手套箱（NEXUS II，VAC）及热蒸发系统。材料包括氦气、氧气、Zn(acac)?、2-甲氧基乙醇、乙酰丙酮、不锈钢网、硅基底、ITO基底、P3HT、PC61BM、MoO?及金。

4：45 GHz微波电源的MWAPPJ装置、多功函数发生器、E-H调谐器、石英管、红外热像仪（InfReC R300SR，日本航空电子工业株式会社）、场发射扫描电镜（JSM-7610F，日本电子株式会社）、XPS（JPS-9010MC，日本电子株式会社）、Keithley 2400数字源表、旋涂仪（Mikasa株式会社）、充氮手套箱（NEXUS II，VAC）及热蒸发系统。材料包括氦气、氧气、Zn(acac)?、2-甲氧基乙醇、乙酰丙酮、不锈钢网、硅基底、ITO基底、P3HT、PC61BM、MoO?及金。 实验流程与操作步骤：

4. 实验流程与操作步骤：MWAPPJ设置参数为氦气流速3 slm、占空比50%、输入功率50 W、等离子体辐照时间60 s。距离参数：d?（石英管至靶材）=1.5 mm，d?（靶材至基底）=5.0 mm。对涂覆ZnO前驱体的网靶进行辐照，实现在硅基底上的沉积。有机光伏器件制备过程中，依次进行ZnO薄膜旋涂/沉积、活性层沉积、MoO?蒸发及金电极沉积，表面温度通过红外相机监测。

5：0%、输入功率50 W、等离子体辐照时间60 s。距离参数：

5. 数据分析方法：SEM在5 kV工作电压下进行形貌分析；XPS采用Mg Kα光源、10 eV通能进行化学键分析；J-V特性在AM 1.5 G太阳光模拟下通过Keithley 2400测量。