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[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018年7月9日-2018年7月13日)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 真空与大气压下的场致发射辅助微等离子体放电
摘要: 在几微米至一毫米尺度范围内,真空与常压下的空间受限非平衡等离子体是产生并维持稳定辉光放电的有效途径。这些微放电或微等离子体的实现,使得微等离子体研究领域能够开展更精确的实验。我们报道了由频率高达1千赫兹的交流电激发的场致发射辅助微等离子体。由于硅纳米尖端结构阵列产生的场增强效应,稳定等离子体放电的点火电压可降低30%。
关键词: 低温等离子体、场发射阵列、介质阻挡放电、等离子体放电
更新于2025-09-23 15:21:21
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利用激光解吸/低温等离子体电离技术对薄层色谱板进行质谱成像
摘要: 薄层色谱(TLC)是分离和分析复杂混合物的经典方法。生物测定、化学衍生化和光谱技术与TLC兼容,可为分离出的化合物提供额外信息。然而,将TLC与质谱联用受到从硅胶表面解吸分析物困难的阻碍。在本研究中,我们采用多模态离子源实现激光解吸(LD)和低温等离子体(LTP)后电离。通过用活性炭覆盖TLC板实现了高效解吸??赏ü叩?、线条或区域分析目标区域。我们展示了通过TLC分离咖啡、茶和可可制品中的甲基黄嘌呤,随后进行质谱成像(MSI)。使用400微米×400微米的横向分辨率,在2.4小时内获取了21,895张光谱(2.5像素/秒)。此外,我们证明了直接质量碎片研究和定量的可能性。我们将该系统安装在Open LabBot上,理论横向分辨率为12.5微米,并使用免费软件RmsiGUI(https://bitbucket.org/lababi/rmsigui)实现了目标离子的可视化和质谱的像素级审查。这个非专有且??榛钠教ㄊ瓜低衬芄灰缘统杀臼视Σ⒔猩缜徊娇?。
关键词: 质谱成像、薄层色谱、低温等离子体、激光解吸、环境电离
更新于2025-09-19 17:13:59
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外部输入参数对双频容性耦合射频氧等离子体中物种产生的影响
摘要: 采用数值模拟方法研究了部分外部输入参数对电子、臭氧O?、负离子O?和正离子O??、亚稳态单重态δ型O?(a?Δg)分子及原子氧O形成的影响。为探究物种密度分布随气体压力p?、驱动高频f?f、极板间距d及驱动电压波形V?f的变化规律,建立了纯氧环境下双射频容性耦合放电的一维自洽流体模型。该模型包含五种主要组分和24个主导反应通道。模拟结果表明:当气体压力升高时,电子、臭氧O?、负离子O?和正离子O??的时均密度分布降低,而亚稳态单重态δ型O?(a?Δg)分子与原子氧O的密度升高。电子密度随f?f增加显著提升,在40.68 MHz达到峰值后随频率继续升高近乎线性下降;负离子O?密度在27.12至67.80 MHz范围内递增,更高频率时略有回落。因此f?f升高虽能促进亚稳态O?(a?Δg)和氧原子生成,但会降低O??密度。极板间距增大会导致各物种形成量明显减少。此外,原子氧O与亚稳态单重态δ型O?(a?Δg)密度随V?f升高显著增加。与近期模拟模型及实验数据对比显示定性吻合。
关键词: 低温等离子体,双电容耦合氧等离子体,粒子产生
更新于2025-09-12 10:27:22
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利用饱和吸收光谱法对氦低温等离子体电子密度的激光诊断
摘要: 采用感应耦合等离子体源产生了电子密度高于10^11 cm^-3的氦(He)低温等离子体,并通过高分辨率激光光谱技术测定了该等离子体的电子密度。为消除低温等离子体中最主要的谱线展宽因素——多普勒展宽,配置了饱和吸收光谱系统。利用波长396.5 nm、光谱线宽窄于1 MHz的高分辨率激光束,成功从氦等离子体2^1S-4^1P跃迁的多普勒展宽中分离出兰姆凹陷。当氦气压力为30 mTorr并施加1 kW射频功率时,自然展宽、范德瓦尔斯展宽、共振展宽和斯塔克展宽的估算谱线宽度分别为40.14 MHz、0.93 MHz、0.15 MHz和12.60 MHz。测得氦等离子体的电子密度约为3×10^11 cm^-3,该结果与朗缪尔探针法及结合碰撞辐射模型的光学发射光谱法测定值相当。
关键词: 低温等离子体,谱线展宽,饱和吸收光谱,氦
更新于2025-09-11 14:15:04
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受控大气中电晕放电作用下聚合物表面的实验表征
摘要: 聚合物电介质因其优异性能在电力传输行业广泛应用;然而在正常运行条件下,这些材料易发生劣化失效。本研究将低密度聚乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯和聚四氟乙烯样品置于氮气和空气环境中进行电晕放电处理。放电过程导致聚合物表面结构发生改变。从化学角度看,非氟化聚合物(即聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA))的改性具有相似性。通过电晕放电模拟,我们识别出表面附近存在的高活性物质。该结果与高压应用中绝缘聚合物因内部局部放电最终导致材料击穿的劣化现象相符。
关键词: 局部放电、化学表征、聚合物表面降解、形貌表征、低温等离子体
更新于2025-09-11 14:15:04